原子熒光分光光度計是利用硼氫化甲或化鈉作為還原劑，將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發性共價氣態氫化物(或原子蒸汽)，然后借助載氣將其導入原子化器，在氬-氫火焰中原子化而形成基態原子。基態原子吸收光源的能量而變成激發態，激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。
原子熒光分光光度計的性能優勢：
非色散系統、光程短、能量損失少
結構簡單，故障率低
靈敏度高，檢出限低，與激發光源強度成正比
接收多條熒光譜線
適合于多元素分析
采用日盲管檢測器，降低火焰噪聲
線性范圍寬，3個量級
原子化效率高，理論上可達到100%
沒有基體干擾
可做價態分析
只使用氬氣，運行成本低
采用氬氫焰，紫外透射強，背景干擾小
原子熒光分光光度計的熒光類型：
a)共振熒光----原子吸收的逆過程， 吸收的能量和釋放的能量相等。E=hv=hc/λ
b)非共振熒光----能量不相等，非共振熒光線
熒光猝滅，使用氬氣做載氣和屏蔽氣，氬氣作用:
a)載氣(內氣:包括產生的氫化物蒸汽、氫氣)
b)屏蔽氣(防止氫化物被氧化、抑制熒光猝滅、穩定原子化環境)
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